晶圓代工廠台積電（2330）指出，公司致力精進能源使用效率，針對無塵室中的外氣空調箱洗滌加濕系統改裝創新的濕膜板設計，估計節電1.49億度，具體行動落實綠色製造。

台積電表示，傳統外氣空調箱噴霧加濕系統以水做為質量傳遞的媒介，水泵將水加壓霧化、再由噴嘴將水細化成特定直徑水顆粒，進氣與水顆粒經過慣性撞擊、質傳、溶解等作用而去除空氣中微汙染物，以維持無塵室的進氣品質。因介質板噴霧加濕系統受限於空調箱尺寸，無法增加霧化水顆粒與空氣接觸時間，洗滌水泵用電量占無塵室空調氣水輸送用電量20%。

為提高能源使用效率，台積電攜手供應商共同研發濕膜板，藉由細水霧依附於濕膜板上形成大面積水膜，提高外氣滯留時間、增加氣流濕潤面積，使水膜可吸收更多外氣所含微汙染物，不僅強化洗滌效果，且水泵馬力變小，可減少80%用電量，達到節能效益。

台積電表示，截至2022年5月，共完成既有廠區266台外氣空調箱濕模板改裝，同時列為新建廠標準設計，並導入413台新設外氣空調箱，估計節電1.49億度。

台積電計劃至2022年年底既有廠區累計完成316台外氣空調箱改裝，估計將可增加節電1100萬度，新建廠區則持續進行新機導入行動，實踐綠色製造承諾，朝永續共好目標邁進。